MDPlinescan

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应用范围:灵活的OEM设备,用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶硅到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。在线面扫和单点检测MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。

样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。

电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。



 


还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源。                                                              

 特性允许单片调查

配方的基础测量

监控材料质量、工艺的完整性和稳定性

优势

在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。

用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆在不同的准备阶段,直到设备,砖或锭。

小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。重点是长时间的可靠性和测量结果的精度。


 


www.3559.com参数样品多晶或单晶晶圆原料, 晶锭,晶胞样品尺寸大约50 x 50 mm2电阻率0.2 - 103 Ohm cmconduction typep, n材质硅晶圆,部分或完全加工的晶圆,复合半导体等测量属性载流子寿命硬件接口ethernet大小174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg电源24 V DC, 2 A

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